1660年，第一台摩擦起电机是德国人格里克发明的。奥托·冯·格里克（1602年—1686年）当过35年的德国马德堡市市长，这位市长是位科学爱好者，发明过能把容器抽成真空的抽气机，做过验证大气压力存在的著名的马德堡半球实验。

具体发明特点：硫黄球，手掌

他觉得用毛皮或丝绸摩擦起电比较费事，于是，他发明了一种摩擦起电机。他用硫黄做了一个球，中间插入铁轴，安放在一个座架上，使它能够绕轴转动。转动时，把手掌放在球上，球与手掌摩擦后就可以产生电。通过实验发现：起电的硫黄球不仅能吸引纸屑，有时也会排斥它们。在夜里或在暗室里摩擦硫黄球，它会发光。

1675年，著名的科学家牛顿用玻璃球代替硫黄球，也制造了一台摩擦起电机。

具体发明特点：玻璃球，手掌

1705年左右，英国科学家豪克斯比（1666年—1713年），用空心玻璃球代替实心玻璃球制成一台摩擦起电机。并在球的下面装了一个带手柄的圆盘，摇动手柄，圆盘会带动球转动。用手摩擦球的外面，球的里面会产生火花。

具体发明特点：空心玻璃球，手掌，带手柄的圆盘

1742年，苏格兰人戈登（1712年—1757年）用玻璃柱代替玻璃球制成的摩擦起电机，转速可以达到每分钟680转，能够产生强烈的火花，电量可以杀死小鸟。

具体发明特点：玻璃柱，手掌，带手柄的圆盘

1745年，苏格兰人温克勒（1703年—1770年）把玻璃柱安装在脚踏板带动的轴上，用脚踏代替手摇。

具体发明特点：玻璃柱，手掌，脚踏

1768年，英国人冉斯登（1735年—1800年）用平的玻璃板代替了玻璃球或玻璃柱制成平板型摩擦起电机。

具体发明特点：玻璃板，手掌，

1779年，荷兰人印根豪茨（1733年—1799年）在圆玻璃板的上、下方安了4个软垫，用软垫和玻璃摩擦，而不再使用手摩擦起电。

具体发明特点：玻璃板，软垫，不再使用手掌

1785年，荷兰人马鲁姆（1750年—1837年），制成了带有两块玻璃板的摩擦起电机。两块板平行放置，安在一个公共轴上，每块玻璃板都和4个垫子摩擦，并用带有尖端的导体从板上收集电。

具体发明特点：玻璃板，软垫，导体从板上收集电

1882年，英国人维姆胡斯（1832年—1903年）发明了我们今天看到的圆盘式静电感应起电机，他把两块玻璃板安在同一个轴上，而转动方向相反。这种起电机效率很高，能产生高电压，所以沿用至今。在教学上给学生做摩擦起电实验时，使用的就是这种起电机，在一般的科技馆里也能看到这种机器。